Les départements français, créés en 1790, étaient à l'origine divisés en districts, avant que ceux-ci ne soient supprimés par la Constitution de 1795. En remplacement, la loi du 28 pluviôse an VIII (17 février 1800) crée les arrondissements, subdivisions territoriales des départements.

Chaque arrondissement est administré par un sous-préfet et doté d'un conseil d'arrondissement, dont les attributions sont en réalité très limitées. Les arrondissements servent aussi de circonscriptions législatives, même si de nombreux arrondissement, trop peuplés, sont divisés en plusieurs circonscriptions.

Le décret du 10 septembre 1926 relatif à l'organisation de l'administration préfectorale ("décret Poincaré") réorganise la carte des arrondissements, supprimant 106 sous-préfectures.

Le régime de Vichy suspend les conseils d'arrondissement par la loi du 12 octobre 1940. Au vu de leur faible utilité, ils ne sont pas rétablis à la Libération. Les arrondissements continuent toutefois d'exister en tant que circonscriptions administratives déconcentrées de l’État, administrée par un sous-préfet.

Même si les comités départementaux de la Libération (CDL) ne sont officiellement institués qu'en avril 1944, leur existence est en réalité plus ancienne : issus des différents mouvements de Résistance qui se sont unifiés au sein du Conseil national de la Résistance (CNR), la plupart des comités voient ainsi le jour dès la fin de l’année 1943 ou le début de l’année 1944.

Le CNR établit une charte des CDL. Ceux-ci doivent notamment :

• prendre une part active à la lutte armée contre l'occupant.
• préparer la Libération et en particulier la future organisation des pouvoirs publics.

Les CDL sont en relation avec les multiples comités locaux de la Libération, dont ils sont chargés de diriger l'action.

Depuis Alger, le Comité français de la Libération nationale (CFLN) officialise l'existence des CDL par une ordonnance du 21 avril 1944. Un comité doit ainsi être institué dans chaque département « dès sa libération ».

Le CFLN souhaite conférer aux CDL un rôle consultatif. Ce rôle doit rester temporaire : l'ordonnance du 21 avril précise que les CDL doivent cesser leurs fonctions après la mise en place des conseils municipaux et des conseils généraux.

Dans les faits, les CDL ont souvent joué dans les premiers mois de la Libération un rôle plus important que celui que leur confère l'ordonnance du 21 avril, allant parfois jusqu'à constituer une autorité concurrente de l'administration préfectorale nouvellement nommée.

Après les élections, les comités perdent rapidement de leur autorité. Leur disparition n’est cependant pas immédiate.

Contrairement aux fonctionnaires de l’État, les agents des communes n'ont pas bénéficié d'un statut unifié avant les années 1950. C'est la loi du 28 avril 1952 qui définit le premier statut général du personnel des communes et des établissements publics communaux et intercommunaux.

Afin d'aider les communes et leurs établissements publics dans l'application du nouveau statut, la loi instaure dans chaque département un syndicat de communes pour le personnel communal, auquel sont obligatoirement affiliées les communes de plus petite taille. Sont concernées toutes les communes comptant moins de quarante agents titulaires à temps complet.

Une loi du 10 juillet 1965 fait passer ce seuil à cent agents titulaires à temps complet. Par ailleurs, les communes comptant plus de cent agents peuvent demander leur affiliation au syndicat.

Au cours des années 1980, le statut des fonctionnaires évolue, avec l'élaboration du premier statut général de la fonction publique. La loi du 26 janvier 1984 définit un statut unifié pour l'ensemble de la fonction publique territoriale et crée les centres départementaux de gestion de la fonction publique territoriale. Ceux-ci remplacent les SCPC à partir de 1986.

Les premières formes d’intercommunalité datent de la fin du XIXe siècle. La loi du 22 mars 1890 rend en effet possible la création de syndicats de communes. Les districts urbains sont ensuite créés par ordonnance en 1959, mais rencontrent un succès limité. Enfin, les premières communautés urbaines apparaissent suite à la loi du 31 décembre 1966.

La loi relative à l’administration territoriale de la République du 6 février 1992 donne une nouvelle dimension à l’intercommunalité. Il s’agit de passer d’une coopération de gestion, largement pratiquée par les syndicats de communes, à une coopération de projet, avec pour objectif de promouvoir le développement économique et l’aménagement de l’espace. Le cadre légal est rénové par la création de deux nouvelles structures de coopération, la communauté de communes, pour le milieu rural, et la communauté de villes, pour le milieu urbain.

La loi du 29 janvier 1993 relative à la prévention de la corruption et à la transparence de la vie économique et des procédures publiques élargit la création des communautés de communes aux zones urbaines.

Le mode de fonctionnement et les domaines de compétences des communautés de communes ont été modifiés à plusieurs reprises, notamment par la loi du 12 juillet 1999 relative au renforcement et à la simplification de la coopération intercommunale qui introduit l’obligation d’un périmètre d’un seul tenant et sans enclave. La loi du 13 août 2004 relative aux libertés et responsabilités locales simplifie les règles de fonctionnement des établissements intercommunaux, renforce leurs possibilités de transformation et de fusion, et encourage une intégration intercommunale accrue.

Enfin, la loi du 7 août 2015 portant nouvelle organisation territoriale de la République élève le seuil démographique de 5 000 à 15 000 habitants afin de contraindre les communes à des regroupements plus importants. Elle augmente également le nombre de compétences obligatoires et de compétences optionnelles des communautés de communes.

Les premières formes d’intercommunalité datent de la fin du XIXe siècle. La loi du 22 mars 1890 rend en effet possible la création de syndicats de communes. Les districts urbains sont ensuite créés par ordonnance en 1959, mais rencontrent un succès limité. Enfin, les premières communautés urbaines apparaissent suite à la loi du 31 décembre 1966.

La loi relative à l’administration territoriale de la République du 6 février 1992 donne une nouvelle dimension à l’intercommunalité. Il s’agit de passer d’une coopération de gestion, largement pratiquée par les syndicats de communes, à une coopération de projet, avec pour objectif de promouvoir le développement économique et l’aménagement de l’espace. Le cadre légal est rénové, par la création de deux nouvelles structures de coopération, la communauté de communes pour le milieu rural, et la communauté de villes, pour le milieu urbain.

La loi relative au renforcement et à la simplification de la coopération intercommunale du 12 juillet 1999, dite « loi Chevènement » contribue à accélérer la création de nouvelles structures. Elle supprime les districts et les communautés de villes et crée une nouvelle catégorie d'établissement public de coopération intercommunale (EPCI) à fiscalité propre, les communautés d'agglomération (CA). Celles-ci doivent compter plus de 50 000 habitants. Elles se substituent aux communautés de ville.

La loi du 16 décembre 2010 de réforme des collectivités territoriales assouplit les conditions démographiques de création des communautés d'agglomération. Elle prévoit aussi l'élection directe des conseillers communautaires des communes de plus de 3 500 habitants.

La loi du 28 pluviôse an VIII (17 février 1800) met à la tête de chaque département créé par la loi du 15 janvier 1790 un préfet, chargé de relayer l'action et les instructions du gouvernement central, et instaure une nouvelle circonscription administrative qui se substitue au district, l'arrondissement. Celui-ci est administré par un sous-préfet assisté d'un conseil d'arrondissement.

Le rôle du sous-préfet est alors d'être un agent d'instruction et de transmission, de surveillance et d'exécution. Il peut néanmoins détenir, par délégation du préfet, un certain nombre de pouvoirs propres, par exemple dans le domaine de l'état civil ou de la police administrative (permis de chasse, débits de boissons, loteries…). Sa mission peut s'étendre aux affaires communales (bâtiments communaux, concessions funéraires …).

L’année 1926 est particulièrement riche concernant l’évolution des sous-préfectures sous l’action du gouvernement Poincaré : le décret-loi du 3 août 1926 réalise une déconcentration administrative importante en transférant des pouvoirs des ministres aux préfets et des préfets aux sous-préfets ; ces derniers voient leurs attributions considérablement accrues. Ce transfert de compétences concerne principalement le contrôle sur les administrations communales : le sous-préfet devient, comme le préfet, le tuteur des communes.

Le décret du 26 septembre 1926 relatif à l’organisation de l’administration préfectorale supprime quant à lui, pour des raisons budgétaires, 106 sous-préfectures sur les 286 initiales, aboutissement d’un processus lent mais régulier de resserrement du nombre des arrondissements (qui s’inverse provisoirement pendant la période de Vichy, qui reconstitue 29 arrondissements).

Une réflexion sur le rôle des sous-préfectures est initiée à la suite du lancement en 2007 de la révision générale des politiques publiques (RGPP). Celle-ci a notamment remis en cause le contrôle de légalité et la délivrance des titres officiels effectué par les sous-préfectures. La directive nationale d'orientation des préfectures (DNO) de 2010-2015 a alors préconisé la transformation des sous-préfectures en administrations de mission tournées vers le développement local. La directive nationale d'orientation des préfectures et sous-préfectures 2016-2018 a mis quant à elle l’accent sur leurs missions de protection et de sécurité.

Le rapport déposé en février 2017 au nom de la commission des finances sur la réforme de l'administration sous-préfectorale et sa contribution au maintien de la présence de l'État dans les territoires pointe les difficultés des sous-préfectures (perte de moyens, hétérogénéité du réseau, isolement…). Néanmoins, il préconise leur maintien sous la forme de  « sous-préfecture nouvelle génération », c'est-à-dire d'une administration « de mission » au service du développement local.

Les premières formes d’intercommunalité datent de la fin du XIXe siècle. C'est la loi du 22 mars 1890 qui rend pour la première fois possible la création de syndicats de communes. Ceux-ci ont le statut d'établissement public. Ils permettent à plusieurs communes de s'associer en vue d'une œuvre d'utilité intercommunale.

Le syndicat de communes reste la seule forme d'intercommunalité jusqu'à la création des districts urbains en 1959.

Il faut attendre une ordonnance du 5 janvier 1959 pour que soit autorisée la constitution de syndicats de communes à but multiple, permettant aux communes de s'associer en vue d'assurer non plus un mais plusieurs services. Cependant, de nombreux syndicats continuent d'exister en conservant une vocation unique. On distingue donc les syndicats à vocation multiple (SIVOM) des syndicats à vocation unique (SIVU).

La loi du 5 janvier 1988 d'amélioration de la décentralisation assouplit encore le cadre juridique, en autorisant la création de syndicats à la carte. Désormais, une commune peut adhérer à un syndicat pour une partie seulement des compétences exercées par celui-ci.

Depuis la fin des années 2000, le développement des compétences des EPCI à fiscalité propre (communautés de communes, communautés d'agglomération, communauté urbaine, métropole) entraîne une diminution rapide du nombre de syndicats intercommunaux.

Le transfert à ces EPCI à fiscalité propre de certaines compétences, par exemple la gestion de l'eau ou de l'assainissement, est en effet progressivement devenu obligatoire. Il s'opère dans un contexte de refonte de la carte intercommunale, en application de la loi du 16 décembre 2010 de réforme des collectivités territoriales puis de la loi du 7 août 2015 portant nouvelle organisation territoriale de la République (loi NOTRe).

C'est dans les années 1950 que naissent les « programmes d'action régionale ». Des circonscriptions régionales sont créées pour mettre en œuvre ces programmes (ce sont les ancêtres des régions actuelles). A l'intérieur de chaque circonscription régionale, un préfet de département est désigné pour « présider des conférences interdépartementales ayant pour objet d'étudier et de coordonner les mesures d'application des programmes d'action régionale et d'aménagement du territoire et, d'une manière générale, de la politique économique du Gouvernement » (décret du 7 janvier 1959).

Il faut cependant attendre un décret du 14 mars 1964 pour que soient réellement institués les préfets de région. Ceux-ci doivent mettre en œuvre la politique du gouvernement en matière de développement économique et d'aménagement du territoire de leur circonscription.

Les services du préfet de région sont alors regroupés en une même "mission régionale" rassemblant des collaborateurs choisis parmi les fonctionnaires administratifs ou techniques. Le préfet de région est assisté de la conférence administrative régionale (CAR), organisme composé des préfets de département et des chefs de services déconcentrés régionaux de l'État.

La loi Defferre, promulguée le 2 mars 1982, transfère l'exécutif régional du préfet au président du conseil régional et érige la région en une collectivité territoriale de plein exercice. Dans la foulée, le décret du 10 mai 1982 relatif aux pouvoirs des préfets de région, à l'action des services et organismes publics de l’État dans la région et aux décisions de l’État en matière d'investissement public spécifie que le préfet de région est assisté dans l'exercice de ses fonctions d'un secrétaire général pour les affaires régionales (SGAR). Des chargés de mission sont également placés auprès de ce dernier.

Les missions du SGAR s'accroissent au cours des années 2000, du fait du renforcement du rôle du préfet de région.

Enfin, l'organisation des SGAR a été adaptée au contexte des régions fusionnées suite à la loi du 16 janvier 2015 relative à la délimitation des régions.

Dans le cadre de la feuille de route pour l'égalité républicaine et l'intégration adoptée le 11 février 2014 par le gouvernement Ayrault, un poste de délégué interministériel à l'égalité républicaine et à l'intégration est crée par le décret n°2014-385. La fonction de correspondant territorial du délégué interministériel à l'égalité républicaine et à l'intégration est également créée par ce même décret.
Dans les fait, cette fonction ne semble n'avoir jamais été mise en place. Le décret n°2014-385 est finalement abrogé par un décret du 24 avril 2017.